中电科风华公司荣获“第三代半导体年度设备企业奖”
2023-12-15
2023年12月14日,“2023行家极光奖”颁奖典礼在深圳举行,数百家SiC&GaN企业代表联袂而来,共同见证第三代半导体产业的风采。经过行业专家评委认真遴选评比,中电科风华公司获得大会“第三代半导体年度设备企业奖”。该奖项主要授予在第三代半导体领域拥有一定声望,取得重要成绩,技术达到行业国内外先进水平,在推动行业发展、技术创新和市场推广等方面做出优异成绩或起到引领作用的企业。

中电科风华公司产品,Mars系列晶圆缺陷检测设备是第三代半导体材料生产过程中的关键设备,用于对碳化硅衬底片、外延片、腐蚀片的缺陷检测。研发团队拥有多年半导体量检测设备的开发经验,掌握明场、暗场、光致发光等光学检测核心关键技术。该系列设备现已在国内多家头部衬底、外延、芯片生产企业上线使用。
未来,风华公司将持续技术攻关,致力于半导体产业链自主化、国产化建设,为我国第三代半导体产业自主可控和高质量发展保驾护航!
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